AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Plasmatechnologie = Plasmasystemen + RF-componenten. AURION Anlagentechnik GmbH werd tegen het einde van 1996 opgericht door drie aandeelhouders. Het idee dat aan de oprichting van het bedrijf vooraf ging, was het produceren van componenten en complete oppervlaktebehandelingssystemen die efficiënt, kostenbesparend en milieuvriendelijk zijn. AURION ontwikkelt en bouwt componenten voor de stroomvoorziening van plasmasystemen. Deze omvatten impedantie-aanpassingsnetwerken met autotuningeenheden evenals filters, schakelaars, faseverschuivers, vermogensverdelers, kabels en connectoren. De nadruk ligt op hoogfrequente plasmaprocessen op 13.56 resp. 27, 12 MHz. Voortbouwend op zijn knowhow op het gebied van componentengineering, biedt AURION ook complete systemen voor de met plasma geassisteerde behandeling van oppervlakken, d.w.z. voor oppervlaktereiniging en -modificatie alsook voor coating- en etsprocessen (PVD, PECVD, RIE, magnetron).